海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理和相關(guān)知識(shí)

海德漢公司的光學(xué)掃描型光柵尺或編碼器的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)都是周期刻線-光柵尺。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長(zhǎng)度測(cè)量用的光柵尺基本為鋼帶。這些精密光柵通過(guò)多種光刻工藝制造。光柵的制造方式有：在玻璃上鍍硬鉻線；在鍍金鋼帶上蝕刻線條；在玻璃或鋼材基體上蝕刻三維結(jié)構(gòu)圖案。
海德漢公司開(kāi)發(fā)的光刻工藝生產(chǎn)的光柵的典型柵距從40μ到1μ以下，這些光刻工藝制作的光柵柵距非常小，而且線條邊緣清晰和均勻，再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵，而且母版光柵采用海德漢公司制定的精密刻線機(jī)制造。

海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理和相關(guān)知識(shí)
【海德漢光柵尺-光柵尺的相關(guān)知識(shí)】
決定直線光柵尺測(cè)量精度的主要因素：
光柵質(zhì)量
掃描質(zhì)量
信號(hào)處理電路質(zhì)量
1.光柵尺相對(duì)掃描單元的方向誤差
其中必須區(qū)分兩種不同精度，一個(gè)是大行程度上的（例如全量程）的位置測(cè)量誤差，另一個(gè)是單信號(hào)周期內(nèi)的位置測(cè)量誤差。
測(cè)量長(zhǎng)度上的位置誤差
敞開(kāi)式直線光柵尺精度用精度等級(jí)表示，其定義為：在任何1米的測(cè)量長(zhǎng)度上總誤差F（相對(duì)其誤差平均值）的極值不超過(guò)精度等級(jí)±a。
對(duì)敞開(kāi)式直線光柵尺，以上定義的精度等級(jí)只適用于長(zhǎng)光柵。因此它稱(chēng)為光柵尺精度。
2.單信號(hào)周期內(nèi)位置誤差
 單信號(hào)周期內(nèi)的位置誤差取決于掃描質(zhì)量和光柵尺或編碼器單信號(hào)周期大小。海德漢公司的敞開(kāi)式直線光柵尺在全量程的任何位置處它均不超過(guò)一個(gè)信號(hào)周期的±1%。
 信號(hào)周期越小，單信號(hào)周期內(nèi)的位置誤差也越小。這對(duì)定位運(yùn)動(dòng)精度和慢速運(yùn)動(dòng)以及軸傳動(dòng)期間的速度控制非常重要。
3.海德漢光柵尺敞開(kāi)式直線光柵尺 
所有海德漢公司的直線光柵尺在發(fā)貨前全部進(jìn)行精度和功能檢驗(yàn)。精度檢定在兩個(gè)運(yùn)動(dòng)方向上執(zhí)行，精心選擇的測(cè)量位置數(shù)能夠確保準(zhǔn)確確定大量程范圍誤差和單信號(hào)周期內(nèi)的無(wú)知誤差。
海德漢公司每個(gè)直線 光柵尺均有制造商檢驗(yàn)合格證，證明它符合系統(tǒng)精度要求，檢定標(biāo)準(zhǔn)符合國(guó)家和*標(biāo)準(zhǔn)要求，能確保滿足ISO9001的可追溯性要求。

海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理和相關(guān)知識(shí)
海德漢光柵尺更多產(chǎn)品：
敞開(kāi)式光柵尺型號(hào)：LIP 382、LIP 372、LIP 481、LIP 471、LIP 580、LIP 571、LIF 481、LIF 471、LIDA 483、LIDA 473、LIDA 485、LIDA 475、LIDA 487、LIDA 477、LIDA 287、LIDA277、LDIA 289、LIDA 279、LIDA 583、LIDA 573、PP 281R、PP 271R。
封閉式直線光柵尺型號(hào)：
LC4000、LC100、LIF481、LF183、LS400、LS100、LB382-單段、LB382-多段